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弊社では創業当初から全製品にスチールハニカムと脱脂洗浄を採用した日本防振工業製の光学定盤と除振台を自信を持ってご紹介致します。
※チューンド・マス・ダンピング構造を内蔵した『ハイグレードダンピング・スチールハニカム定盤』と『高性能三次元空気ばねシステム』を組み合わせる事で、国内最高レベルの除振性能を提供します。
定盤にはそれぞれ固有の周波数に曲げ・ねじれの振動モードを持っており、サイズや形状によってそれらは全て異なります。
この振動モードに合わせ、個別に設計されたチューンド・マス・ダンピング構造を定盤内に内蔵することで下図のコンプライアンス曲線にある共振ピークを1/10以下に抑えた高性能の定盤を実現しています。
また、全てのハニカム定盤に使用されるステンレス板の上下面はタップ加工後に高温・高圧の洗浄液で徹底した脱脂洗浄を行っているため、ハニカム部とのプレス圧着後も内部に切削油や切り粉などの残留物が無く非常にクリーンな仕上がりです。
除振部は全方位対応空気ばねを採用し、高いレベルの除振性能を実現しました。
推奨用途:高解像度実験・精密測定・干渉計・レーザー実験・STM(ATM)
『ハイグレードダンピング・スチールハニカム定盤』と防振ゴム式除振システムを組み合わせ、テーブルトップの剛性とダンピング特性を特に重視したRHDシリーズもございます。
RHDシリーズは比較的静かな作業環境で使用される場合に適しており、空気ばね式除振台に比べ、低周波のゆらぎが無く安定感があり作業性が高いのが特徴です。
固有振動数(伝達率)が垂直12~15Hz 水平5~8Hzとコストパフォーマンスは抜群です。
推奨用途:高解像度実験・干渉計・レーザー実験
チューンド・マス・ダンピング(tuned mass damping,TMD)構造とは、補助質量とばね、専用オイルの組み合わせにより、定盤の共振の抑制に用いられる、受動型制振器です。定盤にはサイズによって個々に曲げ・ねじれの基本モードの共振点が存在します。
例えば、下図のようなコンプライアンス曲線でTMDなしの定盤は290Hz付近で1次曲げモードの共振ピークが現れますが、ハイグレードダンピング定盤はこの共振ピークをピンポイントで1/10以下に低減させる優れた効果を発揮する受動型制振器です。
曲げ・ねじれモードは、定盤の形状・サイズで全く違った周波数で現れるので、それぞれに最適化されたTMD設計を行い提供します。
なお、内部で使用される専用オイルは完全密閉されているので、定盤内部に漏れ出す心配はありません。
ハイグレードダンピング三次元空気ばね式除振台(日本防振工業株式会社製) | |
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型式 | AHD-SERIES |
固有振動数(伝達率) | 垂直1.2~1.8Hz 水平0.6~0.8Hz(空気ばね式) |
水平維持方式 | メカニカルバルブによる自動式(レギュレータ―設定圧力:0.25MPa) |
定盤内部 | トラス型スチールハニカム構造 ハイグレードダンピング構造(チューンド・マス・ダンピング) |
定盤上面 | 端面12.5mmより内部 25XY-M6タップ加工、シールド加工 着磁性ステンレス SUS430 5mm使用、ダンピング作業面 |
定盤側面 | レザーシート貼り |
定盤下面 | ステンレス4mm |
標準付属品 | φ6mmx5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手(PT1/4オネジ) |
オプション | コンプレッサー |
製品番号 | 定盤寸法(WxD)(mm) | 製品高さ(mm) | 定盤の厚さ(mm) | 搭載可能重量(kg) | 製品重量(kg) |
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AHD-1510T | 1500×1000 | 800 | 220 | 500 | 478 |
AHD-1512T | 1500×1200 | 800 | 220 | 500 | 526 |
AHD-1809T | 1800×900 | 800 | 220 | 500 | 532 |
AHD-1810T | 1800×1000 | 800 | 220 | 500 | 532 |
AHD-1812T | 1800×1200 | 800 | 220 | 500 | 583 |
AHD-2010T | 2000×1000 | 800 | 220 | 500 | 659 |
AHD-2012T | 2000×1200 | 800 | 220 | 500 | 716 |
AHD-2412T | 2400×1200 | 800 | 320 | 1000 | 934 |
AHD-2415T | 2400×1500 | 800 | 320 | 1000 | 1068 |
AHD-3012T | 3000×1200 | 800 | 320 | 1000 | 1212 |
AHD-3015T | 3000×1500 | 800 | 320 | 1000 | 1388 |
AHD-3612T | 3600×1200 | 800 | 320 | 2000 | 1353 |
AHD-3615T | 3600×1500 | 800 | 320 | 2000 | 1546 |
AHD-4012T | 4000×1200 | 800 | 320 | 2000 | 1478 |
AHD-4015T | 4000×1500 | 800 | 320 | 2000 | 1694 |
AHD-5012T | 5000×1200 | 800 | 420 | 2000 | 1934 |
AHD-5015T | 5000×1500 | 800 | 420 | 2000 | 2207 |
AHD-6012T | 6000×1200 | 800 | 420 | 2000 | 2177 |
AHD-6015T | 6000×1500 | 800 | 420 | 2000 | 2500 |
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